先按消毒灭菌的效率，参照《消毒技术规范》的标准确定臭氧灭菌的浓度（C），对空气中浮游菌，臭氧灭菌浓度为2~4ppm，对物体表面的沉降菌落，浓度10~15ppm，臭氧的自然半衰期（S）参比状态下为23min左右，一个小时的衰落率为61%。设计：应用臭氧灭菌60min时达到要求浓度后，继续保持一段时间（1~1.5小时），即可得到机械设备和建筑体表面沉降菌彻底杀灭的作用。

　　 例：灭菌空间体积V=600灭菌要求为设备和建筑物表面沉降菌落，按照要求空气中浓度（C）应达到10ppm，臭氧发生器工作一个小时自然半衰退率为61%，需选机型为哪种？W=CV/（1-S）=600×1.963×10/(1-61%)=30200（mg/h）=30.2(g/h)根据30.2g/h的需求量而选择机型。
⑵臭氧发生器配置方案：
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
V= V1+ V2+ V3
V——灭菌空间的总体积
V1——HVAC系统空间体积
V2——洁净区空间体积
V3——为保证洁净区正压所补充的新风对臭氧造成的损失V3=HVAC系统循环总风量/h×25%（常规新风更换率）×10%（保持洁净区正压补充的新风量）×42.08%（计算应用臭氧量时臭氧半衰率的预处值）即V3≈循环系统总，风量×1.1%。